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      三氟化磷（PF3）

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      三氟化磷（PF3）



      化学式

      PF3

      中文名称

      三氟化磷

      英文名称

      Phosphorus  Trifluoride

      CAS No.

      7783-55-3

      分子量

      87.969

      充装量


      应用

      发生气体、氟化剂、外延、离子注入。作为气态磷离子注入源。

      三氟化磷是一种无机化合物 ，其化学式为PF3，在常温常压下为无色无味的有毒气体 ，液态时为无色透明液体，空气中不太发烟，相当稳定，加热时与氢反应生成PH3，能与水反应生成亚磷酸和氟化氢 。碱中也能分解 。可溶于乙醇 。除在高温外，不腐蚀玻璃。


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