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      二氟化氙(XeF2)

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      产品详情

      二氟化氙(XeF2) 二氟化氙(XeF2),又称二氟代氙,分子量为169.30 ,是一种无色固体 ,在室温下容易升华而形成透明晶体 。二氟化氙在中性或碱性溶液中分解,在酸性溶液中较为稳定 ,水溶液有刺激气味 。二氟化氙蒸汽是无色的,具有令人发呕的恶臭 。在电子工业中,XeF2常被用作硅的蚀刻气体,由于XeF2和硅的化学反应是自发反应,XeF2对硅的腐蚀工艺具有非常高的选择性 ,在XeF2对硅进行腐蚀过程中,XeF2气体通过自由扩散到硅衬底表面 ,并与最外层硅原子发生化学反应生成气态Xe和气态SiF4,从而实现对硅的腐蚀 。

      CAS  :13709-36-9

      英文别名:XeF4


      产品指标


      项目Items 单位Unit 指标Index

      二氟化氙Xenon difluoride (XeF2) ≥ Vol.% 99.9

      钾Kalium (K) ≤ mg/kg 0.18

      钙Calcium (Ca)≤ mg/kg 0.15

      钠Sodium (Na)≤ mg/kg 0.7

      镁Magnesium (Mg)≤ mg/kg 0.12

      铝Aluminum (AI) ≤ mg/kg 0.17

      锌Zinc (Zn)≤ mg/kg 0.3

      铁lron (Fe) ≤ mg/kg 1.21

      铅Plumbum (Pb)≤ mg/kg 0.07

      铜Cuprum (Cu)≤ mg/kg 0.05

      铬Chromium (Cr)≤ mg/kg 0.15

      锰(Mn) ≤ mg/kg 0.04

      钼Manganese (Mo) ≤ mg/kg 0.15

      镍Nickel (Ni)≤ mg/kg 0.83

      磷Phosphorus (P)≤ mg/kg 0.14


      产品用途:

      在电子工业中 ,XeF 2常被用作硅的蚀刻气体。此外,二氟化氙是一种选择性很好的氟化试剂,在无机氟化物制备及有机合成中有广泛的应用,但其只有在气相和非水溶液中才具有氟化性质  ,在水溶液中只能起氧化剂的作用。

      包装、贮存 :

      二氟化氙是一个稳定的化合物 ,可长期储放于镍制容器或铝合金无缝钢瓶内 ,包装规格有100g、500g  、1kg、2kg和5kg规格,以满足科研院所及生产型企业的不同要求。具体包装规格可根据用户需求定制更改。二氟化氙储存于阴凉 、通风的库房 ,应与氧化剂、食用化学品、碱金属分开存放 ,远离火种 、热源。


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      厂房环境




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