新奥门31999

分子式:BF₃

分子量：67.80

GAS号
：7637-07-2

熔点

：-127℃

沸点：-100℃

闪点
：4℃

水溶性：溶于水

产品介绍 Product introduction 

        常温常压下三氯化硼11（B11Cl3）为无色发烟气体，可燃
，有刺激性、酸性气味，遇水分解生成和
，并放出大量热量，在湿空气中因水解而生成烟雾
，在醇中分解为盐酸和硼酸酯。三氯化硼11反应能力较强，能形成多种配位化合物
，三氯化硼加热能和玻璃、陶瓷起反应，也能和许多有机物反应形成各种有机硼化合物。高纯三氯化硼11主要用于（硅）半导体器件制造工艺中的扩散掺杂
，在高温下


，经过分解生成硼杂质向硅中扩散，形成P型半导体，也可用于Al

、MoSi2、TaSi2、TiSi2、WSi等材料的干法蚀刻。

产品指标 Quality specification

项目Items	单位Units	指标Index
三氯化硼11 Boron11 Trichloride≥	Vol.%	99.9995
氧+氩Oxygen+Argon<	Vol.ppm	1
氮Nitrogen<	Vol.ppm	4
一氧化碳Carbon monoxide<	Vol.ppm	0.5
二氧化碳Carbon dioxide<	Vol.ppm	0.2
甲烷Methane <	Vol.ppm	0.5
总杂质含量Total impurity content≤	Vol.ppm	5
金属离子Metal ion	Vol.ppm	供需双方商定
		Supply and demand agreement

产品用途 Application

  高纯三氯化硼11主要用于半导体器件和集成电路制造中扩散掺杂、离子注入、干法蚀刻等工艺
。三氯化硼11也可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂
、硅酸盐分解时的助熔剂，在合金精制中作为除氧剂、氮化物和碳化物的添加剂。